Sliseoga sileacain monocrystallineIs slisní tanaí déanta as ábhar sileacain monocrystalline ard-íonachta. Is táirgí ríthábhachtacha iad i dtionscail nua-aimseartha ardteicneolaíochta, ag imirt ról nach féidir a athsholáthar i réimsí amhail fótavoltaic gréine, leathsheoltóirí, agus comhpháirteanna leictreonacha. Le dul chun cinn leanúnach na teicneolaíochta agus an t -éileamh méadaitheach ar fhuinneamh in -athnuaite, tá aird shuntasach tugtha ag an bpróiseas monaraithe de shliocht sileacain monocrystalline. Bíonn tionchar díreach ag gach céim sa phróiseas, ó roghnú na n -amhábhar go dtí fás tinní sileacain monocrystalline, agus ar deireadh le slisniú, camfering, meilt, agus snasú, ar cháilíocht agus ar fheidhmíocht na sliseoga sileacain. Mar mhonaróir de shliocht sileacain monocrystalline grád leictreonach, tá an próiseas monaraíochta iomlán de shliocht sileacain monocrystalline eagraithe againn san alt seo chun na sonraí teicniúla agus na bunphointí a shoiléiriú.
Céim 1: íonú amhábhar
Is é an chéad chéim chun sliseoga sileacain criostail aonair a tháirgeadh ná an próiseas íonaithe. Ar an gcéad dul síos, déantar an sileacain thionsclaíoch a bhaintear as méine sileacain a chóireáil trí mhodhanna fisiceacha agus ceimiceacha le tiontú ina trichlorosilane nó i dteitreaclóiríd sileacain. Ansin, úsáidtear modh Siemens nó modhanna íonú ceimiceach chun an sileacain a íonú go dtí an grád leictreonach. Ní mór do íonacht an pholaitilicon ard -íonachta níos mó ná 99.999999999%a bhaint amach.
Céim 2: Fás Aonair - Crystal
Roinntear modhanna fáis aon -criostail sa mhodh Czochralski (CZ), an modh crios snámha (FZ), agus an modh Czochralski maighnéadach (MCZ, a fhorbraítear bunaithe ar an modh CZ).
Is éard atá i gceist leis an modh Czochralski (modh CZ) an t -amhábhar a chur, bloic polysilicon, isteach i mbreogán Grianchloch, téamh agus leá iad i bhfoirnéis amháin. Ansin, tá criostail síolta múnlaithe le trastomhas de 10 mm amháin (dá ngairtear "síol") tumtha sa leacht leáite. Ina dhiaidh sin, trí rialú próisis foirnéise, tarraingítear amach slat sileacain criostail amháin go mall.
Is teicníc é an modh crios snámha (FZ) chun criostail aonair a fhás trí rialú a dhéanamh ar an grádán teochta chun an t -ábhar a bhogadh trí chrios caol leáite. Is é an bunphrionsabal atá aige ná fuinneamh teirmeach a úsáid chun crios leáite a chruthú ag foirceann amháin de theannán polysilicon, criostail síol criostail amháin (síol), agus ansin, tríd an teocht a choigeartú, an crios leáite a bhogadh go mall chun silicon silicon a fhás leis an gcriostal criostail céanna leis an gcriostal síol.
Cuireann an modh MCZ (Maighnéadach Czochralski) réimse maighnéadach bunaithe ar an modh CZ (Czochralski). Tá aonfhoirmeacht friotachais níos fearr agus ábhar ocsaigine níos ísle i gcomparáid leis na cinn a fhástar ag an modh CZ ag na tinní sileacain aonair -criostail a tháirgtear leis an modh MCZ.
Tá a saintréithe féin ag na trí mhodh dhifriúla. Faoi láthair, is é an modh CZ an ceann is mó a úsáidtear chun criostail aonair a fhás, agus is é a theicneolaíocht an ceann is aibí. Féadann sé slata sileacain leathsheoltóra - grád singil a tháirgeadh le trastomhas 12 orlach.
Cuireann an modh MCZ réimse maighnéadach ar bhonn an mhodha CZ. Chun roinnt comhpháirteanna leictreonacha a tháirgeadh, tá gá le criostail aonair ardchaighdeáin le hábhar íseal ocsaigine agus aonfhoirmeacht friotachais mhaith chun an ráta táirgeachta a mhéadú.
Tá ard -íonacht sa mhodh FZ agus is féidir é a úsáid chun tinní sileacain intreacha a tháirgeadh. Is iondúil go mbíonn friotachas na dtinní sileacain a tháirgtear leis an modh seo ard. Faoi láthair, is é an méid uasta is féidir a bhaint amach ná 8 n -orlach.
Céim 3: Próiseáil Silicon Intcots
Tá dromchla an tsilicon monocrystal sileacain a fhástar go maith míchothrom, agus athraíonn na trastomhais beagán.
Ag an am seo, ní mór dúinn an ceann agus an t -eireaball a ghearradh as, gan ach an lár -chuid lárnach a fhágáil.
Ansin, ní mór an chuid lárnach a chur isteach i ngreille chun dromchla an tsilicon a shnasú, rud a fhágann go bhfuil dromchla iomlán na dtinní réidh agus an éide trastomhas.
Tar éis meilt, de réir riachtanais an chustaiméara, ní mór árasán nó notch a dhéanamh. Go ginearálta, déantar an t -árasán nó an notch de réir na leathchaighdeán.
Céim 4: Slicing, imeall cruinn agus rádú
Socraigh an t -imeall sileacain i slicer. Go ginearálta, baintear úsáid as gearradh sreinge diamaint. Gearr an t -imoibrí sileacain isteach i sliseoga sileacain de thiúsanna éagsúla de réir riachtanais an chustaiméara maidir le tiús sliseog.
Tá imill na sliseoga slisnithe an -ghéar. Is ábhar sobhriste é Silicon féin agus tá seans maith ann go ndéanfaí é a bhriseadh. Dá bhrí sin, is dócha go dtarlóidh sceallóga ag imill na sliseoga sileacain, nach bhfuil ina chabhair dá n -úsáid agus dá bpróiseáil ina dhiaidh sin. Thairis sin, beidh marcanna sreinge agus damáiste dromchla ag dromchla na sliseoga slisnithe, agus ní fhreastalóidh sé ar riachtanais na n -ábhar sliseog sileacain le haghaidh comhpháirteanna leictreonacha a chomhlíonadh.
Ag an am seo, ba chóir Edge Chamfering and Meathing a dhéanamh ar na sliseoga gearrtha sileacain chun sceallóga agus briseadh a sheachaint.
Trí imeall slánaithe, cruthaíonn an imeall agus dromchla an tsleachta sileacain stua (tá an uillinn 11 céim nó 22 céim i gcoitinne), rud a fhágann nach bhfuil an imeall níos géire agus níos lú seans maith go mbeidh sé ag scealpadh. Is cóireáil thánaisteach é an lapáil ar dhromchla an tsleachta sileacain, rud a fhágann go bhfuil an dromchla níos fusa agus níos cothroime. Is céim riachtanach é freisin le haghaidh eitseáil agus snasú ina dhiaidh sin. Is féidir sliseoga sileacain lapped a úsáid freisin i bhfeistí leictreonacha amhail teilifíseáin (sochtóirí voltais neamhbhuan), dé -óidí, agus tríthoiseach.
Céim 5: Eitseáilte agus Poloshed
Ansin, déantar cóireáil bhreise ar dhromchla an tsleachta sileacain.
Eitseáil: Trí eitseáil, is féidir an damáiste beag ar dhromchla an tsleachta sileacain de bharr na bpróiseas roimhe seo a laghdú. Mar sin féin, tar éis eitseáil, teipeann ar an sliseog sileacain riachtanais dhromchla ICS (ciorcaid chomhtháite) nó feistí cumhachta a chomhlíonadh, mar tá míchothrom beag fós ar an dromchla, rud a chuirfidh lochtanna sa táirgeadh sliseanna ina dhiaidh sin.
Ag an am seo, teastaíonn tuilleadh cóireála ó dhromchla an tsleachta sileacain, eadhon snasú ceimiceach - meicniúil (CMP). Tar éis snasú, is féidir an dromchla a úsáid le haghaidh próiseas ina dhiaidh sin ar nós epitaxy (EPI) agus sciath tanaí ar an sliseog sileacain gan lochtanna cruachta. Is ábhair thábhachtacha foshraithe iad sliseoga sileacain snasta le haghaidh déantúsaíochta sliseanna, déantúsaíocht feiste cumhachta, srl.
Céim 6: glan, iniúchadh agus pacáil
Ní mór na sliseoga sileacain snasta a ghlanadh i bhfeiste glantacháin go hiomlán uathoibríoch agus ansin triomaítear iad. Ag an am seo, tá dromchla na sliseoga sileacain an -ghlan cheana féin, agus is beag cáithníní agus cáithníní bídeacha air. D'fhéadfadh na cáithníní 0. 3um a bhaint amach<10 per wafers, or 0.2um<20 per wafers, or 0.12um<30.
Tar éis iad a thriomú, déantar tástálacha éagsúla ar na sliseoga sileacain, ag díriú go príomha ar iniúchadh a dhéanamh ar lochtanna dromchla, lena n -áirítear TTV (athrú tiús iomlán), dlúith, bogha, cothromaíocht, tiús, éilliú miotail dromchla, agus braite comhaireamh na gcáithníní. Rinneadh na tréithe leictreacha agus geoiméadracha, chomh maith le hocsaigin agus cion carbóin na sliseoga sileacain a thástáil sna céimeanna roimhe seo.
Ansin tagann an próiseas pacáistithe. De ghnáth, tá na sliseoga cáilithe pacáilte i gcaiséid folúis, le 25 sliseog i ngach caiséad. Chun éilliú a sheachaint, ba chóir an pacáistiú a dhéanamh i seomra glana le leibhéal glaineachta de Aicme 100 nó níos airde.
Deireadh
An próiseas monaraíochta desliseoga sileacain aonchriostailIs nós imeachta casta agus an -bheacht é, ní hamháin go dteastaíonn ardtacaíocht theicneolaíoch uaidh ach a bhraitheann freisin ar rialú dianchaighdeáin. Ó íonú amhábhar go dtí an táirge deiridh, is féidir le barrfheabhsú gach céim luach níos mó a chruthú d'iarratais i dtionscail éagsúla.
Má tá soláthraí sliseog sileacain aonchriostail ardcháilíochta á lorg agat nó má tá riachtanais bhreise agat maidir le níos mó teicneolaíochtaí, bíodh leisce ortDéan teagmháil le Ruyuan.Cuirfimid réitigh tionscail ghairmiúla ar fáil duit!